Mikro diffrakció
Mikro diffrakció alatt értjük, amikor egy kis méretű mintán, vagy egy nagy méretű minta kis felületén (pontján) végzünk el röntgen diffrakciós vizsgálatot. Ebben az esetben, amikor a vizsgálandó minta túl kicsi a hagyományos XRD berendezések optikai rendszeréhez és pontosságához, egy speciális mikro röntgen nyalábot kell alkalmazni, melynek segítségével a diffrakciós jellemzőket a pozíció függvényében, szkennelve tudjuk meghatározni. Azáltal, hogy a minta felületén megfelelő pontossággal tudjuk pozícionálni a röntgen nyalábot, a kapott információ, mint egy diffrakciós térkép ábrázolható. A diffrakciós adatok tartalmazhatnak információt az anyag összetételéről, kristály orientációról (Textúra), feszültségről, kristályosságról, és a kristályméretről.
A mikro diffrakciós technika és az ezzel kapcsolatos alkalmazások egyre inkább előtérbe kerülnek mind az anyagtudományi kutatásban mind az ipari gyártásban egyaránt.
Az alkalmazások lehetnek pl.:
- Mikroelektronikai vizsgálatok (Si szelet vizsgálatok)
- Inklúziók, zárványok vizsgálata geológiai mintákon
- meghibásodás vizsgálatok fém vagy műanyag alkatrészeken
- gyártásközi minőség ellenőrzés
Berendezések:
- Curved imaging plate microdiffraction system: D/MAX RAPID II
- High-power θ/θ goniometer system: TTRAX III
